Pulvérisation AC à double magnétron de cibles métalliques, puis oxydation ou nitruration par source ionique, pour des multicouches denses jusqu'à 100 couches.
Devis sur demande
Deux magnétrons en courant alternatif pulvérisent les cibles métalliques, puis la source ionique forme l'oxyde ou le nitrure voulu à partir des gaz réactifs. Le procédé donne des multicouches de densité optimisée, jusqu'à 100 couches.
Découvrez d'autres ressources qui pourraient soutenir vos travaux