Suite de photolithographie

Notre suite de photolithographie dans la salle blanche RUCH 107 couvre l'ensemble d'un flux de microgravure. Le tarif de la suite comprend :

• Banc à solvants et station d'enduction centrifuge JST, avec enductrice centrifuge CEE Model 200X-F et plaque chauffante pour le précuisson des résines appliquées par centrifugation.
• Banc à bases JST pour les produits basiques : révélateur et décapant de résine photosensible, hydroxyde de potassium, hydroxyde d'ammonium et autres produits chimiques d'un pH supérieur à 7.
• Aligneur par contact Quintel Q-4000 : impression UV par contact ou par proximité, résolution de 1 micron.
• Aligneur OAI 5000.
• Rinceuse-sécheuse centrifuge Semitool ST-460 : rinçage à l'eau désionisée et séchage à l'azote, outillage pour plaquettes de 100 mm, deux modes de fonctionnement.

Chacun de nos bancs JST comprend une plaque chauffante programmable.

Le tarif de la suite s'applique aux cinq instruments. Réservés séparément, par heure : aligneur Quintel Q-4000 10 $ (Tarif A), 15 $ (Tarif B), 65 $ (Tarif C); banc à solvants et station d'enduction JST 25 $, 36 $, 86 $; banc à bases JST 15 $, 22 $, 72 $; rinceuse-sécheuse centrifuge Semitool ST-460 10 $, 15 $, 65 $.