Fonction principale : Le MicroWriter ML3 Baby Plus (Durham Magneto Optics) est un appareil de lithographie optique à écriture directe compact et performant, conçu pour le prototypage rapide et la fabrication à faible volume dans les laboratoires de R&D et les salles blanches.
Spécifications techniques :
- Zone d'écriture maximale : 149mm x 149mm
- Tailles de plaquette prises en charge : Jusqu'à 155mm x 155mm x 7mm
- Source lumineuse : Source lumineuse à semi-conducteur longue durée de 405nm adaptée aux résines photosensibles à large bande, aux raies g et h
- Sources lumineuses en option : 385nm et 365nm
- Résolution de l'interféromètre XY : 15nm pour un contrôle précis du mouvement
- Vitesse d'écriture rapide (motif minimal de 1µm) : Jusqu'à 50mm²/minute
- Vitesse d'écriture rapide (motif minimal de 5µm) : Jusqu'à 180mm²/minute
- Fonctionnalités supplémentaires : Système de mise au point automatique, microscope optique haute résolution, mode d'exposition en niveaux de gris pour la structuration 3D, profilomètre optique de surface, outil d'inspection automatisée des plaquettes.
Applications : Idéal pour les travaux de photolithographie à petite échelle, adapté aux applications en microfluidique, aux MEMS et à la recherche sur les semi-conducteurs.