Plasma Pod-RIE_ Plasma therm

L'appareil Plasma-Term modèle Plasma pad peut être utilisé comme incinérateur à plasma (plasma asher), pour nettoyer des substrats ou comme système RIE (gravure ionique réactive). La chambre peut accueillir des substrats allant jusqu'à un diamètre de 180 mm (6 pouces) et une hauteur de 105 mm (4.1 pouces). Pour l'instant, seuls l'oxygène et l'argon sont disponibles. Le CF4 sera offert ultérieurement.