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    ÉquipementDisponible

    Système de traitement thermique rapide Modular Process Technology RTP-600S

    Traduit de l'anglais ·

    Traitement thermique rapide sur table avec plusieurs gaz pour plaquettes jusqu'à 6 po : activation d'implants, alliage de contacts et formation de siliciures.

    25 $ US à 86 $ US / heureTous les tarifsVoir les tarifs

     

    L’instrument

    Le RTP-600S est un système de traitement thermique rapide de table doté d'une capacité multigaz et d'un outillage en graphite. Il traite des plaquettes jusqu'à 6 po de diamètre, pour l'activation d'implants, l'alliage de contacts et la formation de siliciures.

    Tarifs

    Boise State researchers
    25 $ US / heure
    Commercial
    86 $ US / heure
    Tous les autres
    36 $ US / heure

    Voir les tarifs

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