Traduit de l'anglais
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Le système de polissage ionique Hitachi IM-4000Plus est un système de découpe et de polissage par faisceau d'ions larges conçu pour la préparation de coupes transversales et le surfaçage de divers matériaux. Il utilise un faisceau d'ions Ar+ à faible énergie pour produire des coupes transversales ou des surfaces planes plus larges et sans déformation, sans induire de contrainte mécanique sur l'échantillon. Le système est doté d'une optique ionique avancée permettant des vitesses de décapage supérieures à 500 μm/h à 6 kV pour le silicium, réduisant nettement le temps de traitement. Il offre une plage de tension d'accélération de 0 à 6 kV et plusieurs modes de rotation de platine pour une préparation optimale des échantillons avant l'observation au MEB. Pour les matériaux thermosensibles, un procédé de décapage intermittent permet de dissiper la chaleur, et un mode cryogénique amélioré assure un contrôle précis de la température (0° à -100°C avec LN2). Le système garantit un alignement précis du masque pour le polissage de zones ciblées et comprend un système de transfert sous atmosphère contrôlée pour les échantillons sensibles à l'oxydation. Un angle d'incidence de faisceau variable permet un polissage parfait (p. ex. pour l'analyse EBSD) ou l'accentuation sélective du relief de surface. Un microscope optique haute résolution optionnel permet l'observation directe de la zone de coupe. Le système accepte des échantillons mesurant jusqu'à 50 mm de diamètre et 25 mm de hauteur.
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