Microscope électronique à balayage couplé à un faisceau d'ions focalisés : imagerie nanométrique en vide élevé ou en bas vide, gravure ionique, analyse par rayons X et nanodéposition de platine et d'or.
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Notre microscope à double faisceau combine un canon à électrons à émission de champ et un faisceau d'ions gallium focalisé. Il observe vos échantillons à l'échelle nanométrique, en vide élevé ou en bas vide, grave des structures photoniques à l'échelle du nanomètre en les observant en temps réel, et analyse leur composition par spectroscopie de rayons X.
Il dépose aussi du platine et de l'or à l'échelle nanométrique. Ciena s'en est servi pour la microcaractérisation de ses puces de silicium.
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