Traduit de l'anglais
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Le Hitachi SU-3500 est un microscope électronique à balayage à pression variable (MEB-PV) polyvalent offrant des modes de fonctionnement sous vide poussé et sous vide partiel. Il fournit une imagerie haute résolution, avec une résolution SE de 3 nm à 30 kV (vide poussé) et de 7 nm à 3 kV (vide poussé). Le système est équipé de divers détecteurs, notamment BSE, EDS à détecteur au silicium à dérive (SDD) et EBSD (diffraction d'électrons rétrodiffusés). Sa capacité d'ultra-pression variable et son détecteur BSE permettent d'obtenir des cartes tridimensionnelles quantitatives de la surface des échantillons, ce qui facilite l'analyse de surfaces complexes ou rugueuses, ainsi que l'imagerie d'échantillons non conducteurs sans métallisation préalable.
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