Traduit de l'anglais
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Il s'agit d'un évaporateur thermique et par faisceau d'électrons (E-beam) installé dans la pièce A2564. Il comporte 3 sources thermiques utilisables simultanément, chacune dotée de son propre capteur d'épaisseur. La source E-beam peut accueillir 6 creusets de 7 cc. Il prend en charge des substrats jusqu'à 6 pouces. Seul l'aluminium est actuellement disponible. Une cryopompe permet d'atteindre 2e-6 Torr en moins de 30 minutes.
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