Traduit de l'anglais
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L'EMS Q150TS (Q150TS Plus) est un système combiné de métallisation par pulvérisation cathodique et d'évaporation de carbone avec pompe turbomoléculaire, conçu pour la préparation d'échantillons pour la microscopie électronique. Il peut atteindre un vide de 5x10⁻⁵ mbar. Le système permet la pulvérisation de divers métaux, notamment le chrome (standard), le nickel, l'or, le platine, le palladium, l'iridium, le tungstène, l'aluminium, le titane, le cuivre, le fer, le cobalt, l'étain, le molybdène, le magnésium, le tantale et l'ITO. Il peut déposer une épaisseur minimale de 1,5 nm par pulvérisation et de 5 nm par évaporation de carbone. Le Q150TS comprend une platine rotative de 50 mm Ø à inclinaison réglable et rotation (8-20 rpm), assurant un dépôt uniforme. Son interface conviviale comprend un écran capacitif tactile et à balayage, capable d'enregistrer plus de 1000 recettes et d'offrir un journal des 1000 derniers dépôts. Un port USB permet les mises à niveau et le téléchargement des journaux de procédé. Ce système est idéal pour les applications MEB et FIB-SEM haute résolution, la création de couches protectrices, ainsi que le dépôt de carbone pour l'analyse élémentaire et les grilles MET.
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