Nettoyeur à plasma O₂

Aperçu : Le nettoyeur à plasma O₂ est conçu pour le nettoyage par plasma d'oxygène, l'activation de surface et l'élimination des contaminants, principalement utilisé dans les environnements de recherche et développement.

Principales caractéristiques :

• Appareil de paillasse de plus grand format
• Réglages de puissance RF ajustables (Faible, Moyen, Élevé)
• Comprend une chambre en Pyrex de 6 po de diamètre x 6,5 po de longueur
• Porte à charnière avec fenêtre d'observation
• Refroidissement par ventilateur actif
• Interrupteur intégré pour pompe à vide

Spécifications techniques :

• capacité : chambre de 6 po de diamètre x 6,5 po de longueur
• exactitude : Non précisée
• précision : Non précisée
• plage : réglages de puissance RF de 30W à 45W
• vitesse : vitesse de pompage minimale de 1,4 m³/hr (23 L/min)
• puissance : puissance RF maximale de 45W
• dimensions : 11 po H x 18 po L x 9 po P

Applications : Idéal pour le nettoyage de surfaces à l'échelle nanométrique, la modification de la chimie de surface et la gravure de films minces organiques.