Traduit de l'anglais
Devis sur demande
Il s'agit d'un évaporateur thermique pour matières organiques installé dans la pièce A2564. Il comporte 3 sources Radak et 1 source thermique pouvant être utilisées simultanément avec 2 capteurs d'épaisseur à quartz (QCM). Le porte-substrat peut accueillir 16 substrats de 1x1 pouce et peut être chauffé jusqu'à 300 degrés C. Grâce à un nouveau porte-substrat, il est possible d'effectuer des dépôts sur des substrats allant jusqu'à 150x150 mm. Il peut contenir jusqu'à 4 masques manipulés par un robot. Une pompe cryogénique permet d'atteindre des pressions de l'ordre de 10-8 Torr.
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