Traduit de l'anglais
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Un microscope électronique à balayage à émission de champ froid (CFE-SEM) avec capacités STEM intégrées, équipé pour la spectroscopie à dispersion d'énergie (EDS) et la diffraction d'électrons rétrodiffusés (EBSD). Cet instrument offre une imagerie haute résolution, avec une résolution de 0,4 nm à 30 keV et de 3 nm à 0,05 keV, permettant l'analyse détaillée des surfaces et le travail sur échantillons minces en mode STEM. Il est doté d'un flash automatique doux assurant une brillance constante, une haute résolution spatiale et un rapport signal sur bruit amélioré. Le courant de sonde maximal est d'environ 10-20 nA. Les systèmes de détection comprennent des détecteurs SE/BSE intra-lentille avec filtrage d'énergie (détecteurs supérieur et sommital), un détecteur SE dans la chambre, ainsi qu'un détecteur BSE à photodiode à l'état solide (5 quadrants). Pour le STEM, il comprend un détecteur BF avec diaphragmes et un détecteur ADF/HAADF à l'état solide avec angles de collecte réglables. Les capacités d'analyse sont prises en charge par un détecteur SDD Bruker XFlash 6|60 60mm² à 4 quadrants, un SDD Bruker FlatQuad 5060F (1,2 Sr), et une caméra EBSD Bruker eFlash avec détecteurs ARGUS et OPTIMUS. Le système comprend également un nettoyage in situ eCloud en aval pour le maintien des échantillons.
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