Traduit de l'anglais
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Le système Hitachi IM-3000 est un système d'usinage par faisceau d'ions larges conçu pour le polissage plan d'échantillons prépolis, particulièrement efficace pour les métaux et les alliages avant l'analyse par contraste de canalisation des électrons (ECCI). Il utilise un faisceau d'ions Ar+ de 1 à 6 keV, assurant une implantation ionique limitée tout en offrant un taux de pulvérisation élevé. L'appareil produit des surfaces lisses et planes avec des valeurs de rugosité généralement inférieures à 0,2 nm Ra. Il permet de traiter une vaste gamme de matériaux, notamment des métaux, des semi-conducteurs, des céramiques et des isolants. Les caractéristiques principales comprennent des inclinaisons de faisceau variables pour atteindre les surfaces difficiles d'accès, des vitesses d'accélération élevées pour un enlèvement rapide de matière, un dommage thermique minimisé ainsi qu'une unité d'imagerie in situ pour une surveillance en temps réel. La station de base pilotée par ordinateur permet un balayage et une oscillation précis du faisceau, rendant la préparation de surface de précision simple et efficace. Le courant du faisceau ionique varie de 50 à 100 µA selon la tension d'accélération, et l'angle d'inclinaison est réglable de 0 à 88 degrés.
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