Graveur au plasma d'oxygène Nanoplus DSB6000

Le Nanoplus DSB6000 est un système de gravure au plasma d'oxygène principalement utilisé pour le nettoyage, l'élimination de résine et la modification de surface en micro- et nanofabrication. Cet équipement utilise des espèces réactives d'oxygène générées dans un plasma pour réagir chimiquement avec les matériaux organiques, les convertissant en composés volatils qui sont ensuite évacués par pompage. Il est très efficace pour éliminer les résidus de résine photosensible, les contaminants organiques et pour activer les surfaces avant des étapes subséquentes de dépôt ou des procédés de scellement. La gravure au plasma d'oxygène constitue une étape critique dans de nombreuses séquences de fabrication, assurant des surfaces propres et bien préparées pour un rendement optimal des dispositifs.