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    Système de dépôt de couches atomiques (ALD) VECCO Fiji G2

    Traduit de l'anglais ·

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    L’instrument

    Système de dépôt de couches atomiques (ALD) pour dépôt chimique en phase vapeur. Matériaux offerts : TiO2, Al2O3, SiO2, HfO2.

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